一、什么是??原子力顯微鏡???
??原子力顯微鏡??是一種具有??納米級甚至原子級分辨率??的超高分辨率掃描探針顯微鏡。它的核心原理非常簡單:通過一個極細的探針在樣品表面輕輕“觸摸”或掃描,來感知樣品表面的三維形貌和物理性質。
最令人驚嘆的是,AFM不需要像電子顯微鏡那樣必須在真空環境下工作,它可以在??大氣環境、液體環境、甚至真空??中操作。這使得它能夠觀測??生物大分子(如蛋白質、DNA)、活細胞??等無法在電子顯微鏡下直接觀察的樣品,這是它的一項巨大優勢。
二、工作原理
AFM的工作原理類似于古老的唱片機唱針讀取唱片溝槽,但精度要高無數個數量級。其核心組成部分包括:
??1、微懸臂梁:?? 一個極富彈性的微小懸臂。
??2、探針:?? 位于懸臂梁末端的一個極其尖銳的針尖,曲率半徑可達納米級別。
??3、激光發射與位置檢測系統:?? 一束激光打在懸臂梁的背面,并反射到一個四象限的光電探測器上。
??4、壓電掃描器:?? 一種能夠實現納米級精確定位的陶瓷材料,可以控制探針或樣品在X, Y, Z三個方向上進行精確移動。
??工作過程(以接觸模式為例):??
??1、接觸:?? 將尖銳的探針逐步逼近樣品表面,直到它與樣品表面的原子產生微弱的相互作用力(主要是范德華力)。
??2、掃描:?? 壓電掃描器帶動探針在樣品表面進行逐行掃描(柵掃描)。
??3、感知形變:?? 當探針掃描到表面有起伏的地方時,針尖與樣品之間的作用力會發生變化,導致微懸臂梁發生??彎曲(形變)??。
??4、檢測形變:?? 懸臂梁的彎曲會改變反射激光束的方向,從而在光電探測器上光斑的位置發生變化。這個位置變化被精確地記錄下來。
??5、反饋循環:?? 系統通過一個反饋回路,實時調整壓電掃描器在Z方向的高度,以保持懸臂梁的形變(即探針與樣品之間的作用力)恒定。
??6、成像:?? 計算機記錄下掃描器在每一點(X, Y坐標)上為保持力恒定所需要的Z方向高度變化值。將這些數據組合起來,就得到了樣品表面的??三維形貌圖??。
三、主要工作模式
AFM有多種工作模式,以適應不同的樣品和測量需求,主要分為三類:
1. 接觸模式
??原理:?? 探針與樣品表面直接接觸(斥力模式),懸臂梁與樣品表面的距離小于零點幾個納米。
??優點:?? 分辨率高,掃描速度快。
??缺點:?? 橫向力可能對柔軟樣品(如生物樣品)造成損傷或移動。
2. 輕敲模式
??原理:?? 使微懸臂梁在其共振頻率附近發生振蕩,探針僅在每個振蕩周期的底部短暫地“輕敲”樣品表面。通過檢測振蕩振幅的變化來反饋表面形貌。
??優點:?? 極大地減少了橫向力,非常適合觀察柔軟、易碎或粘附性強的樣品(如生物、高分子材料),是應用廣泛的模式之一。
??缺點:?? 掃描速度略慢于接觸模式。
3. 非接觸模式
??原理:?? 探針在樣品表面上方振動(距離幾到幾十納米),通過檢測樣品與針尖之間的長程作用力(如范德華力、靜電力)的變化來成像。
??優點:?? 對樣品幾乎零損傷。
??缺點:?? 分辨率較低,通常需要在真空環境中操作以排除空氣阻尼的干擾。
四、主要應用領域
AFM的強大功能使其在眾多領域中應用:
??1、材料科學:??
觀察納米材料(如石墨烯、碳納米管)的形貌和結構。
研究金屬、半導體、陶瓷等材料的表面粗糙度、晶粒邊界、缺陷。
分析高分子材料的相分離、晶體結構等。
??2、生命科學與生物學:??
??成像:?? 直接觀察DNA、RNA、蛋白質等生物大分子的結構,甚至能在液體環境中觀察生物過程的動態變化。
??力學性質測量:?? 通過力曲線測量,研究活細胞的彈性(剛度)、細菌的粘附力、蛋白質間的相互作用力等。
??3、納米技術:??
??納米操縱:?? 移動單個原子或分子,構建納米結構。
??納米加工:?? 利用AFM針尖對材料表面進行刻蝕、氧化,實現“直寫”式加工。
??4、半導體工業:??
測量集成電路的線寬、深度,進行失效分析。
檢測半導體器件的表面質量。
五、原子力顯微鏡結構特性:◆ 激光檢測頭和樣品掃描臺集成一體,穩定可靠;
◆ 精密激光及探針定位裝置,更換探針及調節光斑簡單方便;
◆ 單軸驅動樣品自動垂直接近探針,準確定位掃描區域,使針尖垂直于樣品掃描;
◆ 馬達控制加壓電陶瓷自動探測的智能進針方式,保護探針及樣品;
◆ 高精度大范圍的壓電陶瓷掃描器,可根據不同精度和掃描范圍要求選擇;
◆ 10X復消色差物鏡光學定位,無需調焦,實時觀測。
六、原子力顯微鏡技術參數:
基本工作模式 | 接觸模式、輕敲模式、F-Z力曲線測量、RMS-Z曲線測量 |
選配工作模式 | 摩擦力/側向力、振幅/相位、磁力和靜電力 |
樣品尺寸 | Φ≤90mm,H≤20mm |
掃描范圍 | XY向50um,Z向5um(可選配XY向110um,Z向10um) |
掃描分辨率 | XY向0.2nm,Z向0.05nm |
樣品移動范圍 | 0~20mm |
光學放大倍數 | 10X,光學分辨率1um(可選配20X,光學分辨率0.8um) |
掃描速率 | 0.6Hz~4.34Hz,掃描角度0~360° |
掃描控制 | XY采用18-bit D/A,Z采用16-bit D/A |
數據采樣 | 14-bit A/D、雙16-bit A/D多路同步采樣 |
反饋方式 | DSP數字反饋 |
反饋采樣速率 | 64.0KHz |
通信接口 | USB2.0/3.0 |
運行環境 | WindowsXP/7/8/10操作系統 |